鵬城半導(dǎo)體攜PVD真空鍍膜設(shè)備亮相昆明ICEO2024
2024 年4 月12-14 日在昆明花之城豪生國(guó)際酒店舉辦第一屆新能源與光電技術(shù)國(guó)際會(huì)議(ICEO2024),本次國(guó)際會(huì)議是新能源與光電領(lǐng)域科研工作者的一次專業(yè)盛會(huì),將全面地展示科研工作者們?cè)阝}鈦礦太陽(yáng)能電池、有機(jī)太陽(yáng)能電池、薄膜電池、燃料電池、鋰/鈉電池、發(fā)光二極管、發(fā)光電化學(xué)電池、光電探測(cè)器、激光器、傳感器、薄膜晶體管等研究領(lǐng)域所取得的最新進(jìn)展及成果,深入探討相關(guān)研究領(lǐng)域所面臨的機(jī)遇、挑戰(zhàn)及未來(lái)的發(fā)展方向。屆時(shí),鵬城半導(dǎo)體技術(shù)(深圳)有限公司(簡(jiǎn)稱:鵬城半導(dǎo)體)也受主辦方邀請(qǐng)亮相本屆會(huì)議。
HFCVD熱絲化學(xué)氣相沉積設(shè)備
設(shè)備主要用于微米晶和納米晶金剛石薄膜的研發(fā)和生產(chǎn)??捎糜诹W(xué)級(jí)別、熱學(xué)級(jí)別、光學(xué)級(jí)別、聲學(xué)級(jí)別的金剛石產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)。
可以制造大尺寸金剛石多晶晶圓片,用于大功率器件、高頻器件及大功率激光器的散熱熱沉。
可用于生產(chǎn)制造防腐耐磨硬質(zhì)涂層;環(huán)保領(lǐng)域污水處理用的金剛石產(chǎn)品。
可用于平面工件的金剛石薄膜制備,也可用于刀具表面或其它不規(guī)則表面的金剛石硬質(zhì)涂層制備。
可用于太陽(yáng)能薄膜電池的研發(fā)與生產(chǎn)。
高真空磁控濺射儀(PVD真空鍍膜設(shè)備)
是用磁控濺射的方法,制備金屬、合金、化合物、半導(dǎo)體、陶瓷、介質(zhì)復(fù)合膜及其它化學(xué)反應(yīng)膜等;適用于鍍制各種單層膜、多層膜、摻雜膜系及合金膜;可鍍制磁性材料和非磁性材料。
分子束外延薄膜生長(zhǎng)設(shè)備MBE(分子束外延MBE)
分子束外延薄膜生長(zhǎng)設(shè)備MBE,該設(shè)備可以在某些襯底上實(shí)現(xiàn)外延生長(zhǎng)工藝,實(shí)現(xiàn)分子自組裝、超晶格、量子阱、一維納米線等。可以進(jìn)行第二代半導(dǎo)體和第三代半導(dǎo)體的工藝驗(yàn)證和外延片的生長(zhǎng)制造。
分子束外延薄膜生長(zhǎng)設(shè)備在薄膜外延生長(zhǎng)時(shí)具有超高的真空環(huán)境,是在理想的環(huán)境下進(jìn)行薄膜外延生長(zhǎng),它可以排除在薄膜生長(zhǎng)時(shí)的各種干擾因素,得到理想的高精度薄膜。
我公司設(shè)計(jì)制造的分子束外延薄膜生長(zhǎng)設(shè)備,分實(shí)驗(yàn)型和生產(chǎn)型兩種 ,配置合理,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,操作方便,技術(shù)先進(jìn),性能可靠,用途多,實(shí)用性強(qiáng),價(jià)格相對(duì)較低,可供各大學(xué)的實(shí)驗(yàn)室及科研機(jī)構(gòu)作為分子束外延方面的教學(xué)實(shí)驗(yàn)、科學(xué)研究及工藝實(shí)驗(yàn)之用。生產(chǎn)型MBE可用于小批量外延片的制備。
PECVD 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備(PECVD設(shè)備)
PECVD 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備主要用于在潔凈真空環(huán)境下進(jìn)行氮化硅和氧化硅的薄膜生長(zhǎng);采用單頻或雙頻等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積技術(shù),是沉積高質(zhì)量的氮化硅、氧化硅等薄膜的理想工藝設(shè)備。
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