產(chǎn)品分類
- 產(chǎn)品描述
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項目
配置和指標(biāo) 1
設(shè)備整體 真空專用不銹鋼制作，真空泵、冷卻系統(tǒng)及冷阱集中在一起，整機整體可移動。真空腔體內(nèi)外表面電化學(xué)拋光，溫度自動控制，配電力系統(tǒng)檢測與報警、水壓檢測、溫度檢測等 2
工藝概況 可涂覆0.1-100μm薄膜，在真空中通過材料升華、裂解、聚合完成工藝，升華區(qū)溫度 200℃，偏差±2℃ 裂解區(qū)溫度 700℃，偏差±2℃。
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