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生產(chǎn)型 TGV/TSV/TMV

生產(chǎn)型 TGV/TSV 高真空磁控濺射鍍膜機(jī)該設(shè)備用于玻璃基板和陶瓷基板的高密度通孔和盲孔的鍍膜，深徑比>10:1。例如：用于基板鍍膜工序Cu/Ti微結(jié)構(gòu)，Au/TiW傳輸導(dǎo)線雙體系膜層淀積能力，為微系統(tǒng)集成密度提升提供支撐。

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