低壓化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
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LPCVD低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備（科研型LPCVD）是在低壓高溫的條件下，通過化學(xué)反應(yīng)氣相外延的方法在襯底上沉積各種功能薄膜（主要是Si3N4、SiO2及Poly硅薄膜）?？捎糜诳茖W(xué)研究、實踐教學(xué)、小型器件制造。
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